厂家直销 量大从优 保证质量 联系方式 150 3820 1226 王倩
| 产 品 特 点 | 与普通的CVD系统相比，因为有等离子源的介入,系统的沉积温度相对较低。 配备有滑轨式管式炉可以轻松实现快速降温，实现快速退火。 操控界面可配备液晶操作系统，图文显示，直观易懂，对于设备的使用操作简单易学 该系统工作温度接近1150℃，能满足大多数热处理场合。 该设备可具体用于：碳、 ZnO 纳米管或纳米线的制备也可以用于制备单层石墨烯以及各种CVD实验 。 |
| 等 离 子 发 生 器 | 输出功率: 5 ～500W ± 1% . 射频频率: 13.56 MHz ±0.005% . 反射功率: 约200W 阻抗匹配: 自动  |
| 真 空 泵 机 组 | 双极旋片泵, 极限真空0.1Pa KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连. 管内真空可达1Pa 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（需要另外计算费用）  |
| 质量流量计 | 三通道的质量流量计(精度0.02% ) ：数字显示，自动控制. MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2和3: 0~500 sccm 一个混气罐，底部装有泄废液口. 进气接口: 1/4NPS. 出气接口: 1/4NPS. |
| 水冷系统 | 水冷法兰要求：水流量 >= 10L/M ，配有专业水冷机组。 |
| 管式炉 | 炉管直径：80mm 炉管长度：1400mm 炉膛长度：440mm 控温精度：±1℃ 工作温度：≦1200℃  |